“目前，干法刻蝕工藝主要是離子銑刻蝕、等離子刻蝕和反應(yīng)離子刻蝕三種方案。”
“而這三種方案，離子銑刻蝕最為簡(jiǎn)單，可控性也比較高，技術(shù)成熟度也很高，相關(guān)的專利其實(shí)也已經(jīng)被申請(qǐng)的差不多了，想要彎道超車(chē)，避開(kāi)西方的專利壁壘，這個(gè)方案非常的難。”
“除此之外，這個(gè)方案也有技術(shù)本身的缺點(diǎn)，那就是刻蝕選擇性極差，必須采用專門(mén)的刻蝕終點(diǎn)檢測(cè)技術(shù)，并且刻蝕速率也比較低，性比價(jià)相當(dāng)?shù)汀！?/p>
“而等離子刻蝕，雖然通過(guò)選擇和控制放電氣體的成分，可以得到較好的刻蝕選擇性和較高的刻蝕速率，但是刻蝕精度卻并不高，一般只能運(yùn)用在大于4-5微米線條的工藝之中。”
“而我們實(shí)驗(yàn)里正在進(jìn)行的項(xiàng)目，就是王總設(shè)計(jì)的反應(yīng)離子刻蝕方案！”
陳凌岳一邊介紹著，一邊帶著尹之耀等人朝著刻蝕方案項(xiàng)目區(qū)域而去。
聽(tīng)到陳凌岳這么介紹，尹之耀的神情并沒(méi)有多大的變化。
論文他已經(jīng)看過(guò)了，雖然有些吃驚王東來(lái)的動(dòng)作迅速，直接就在自己的實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行驗(yàn)證，但如果只是這樣的話，也只能算是一般，中規(guī)中矩。
尹之耀的心里想法，其實(shí)不僅是王東來(lái)能看出來(lái)，陳凌岳也能看出來(lái)。
一路無(wú)話，很快就到了地方。
作為刻蝕行業(yè)沉浸幾十年的大佬，尹之耀心里不斷地評(píng)價(jià)著這座實(shí)驗(yàn)室。
“看來(lái)銀河科技還是很舍得在這方面投入的！”
等到見(jiàn)到實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目的時(shí)候，尹之耀就變得無(wú)比認(rèn)真起來(lái)。
眼睛一眨不眨地看著儀器。
現(xiàn)代的干法刻蝕設(shè)備包括復(fù)雜的機(jī)械、電氣和真空裝置，同時(shí)還配備有自動(dòng)化的刻蝕終點(diǎn)檢測(cè)和控制裝置，價(jià)格昂貴，很少有實(shí)驗(yàn)室會(huì)完全配備。
而現(xiàn)在，尹之耀的面前就有這些儀器。
這些儀器，目前也經(jīng)過(guò)人為的修理調(diào)整，用來(lái)驗(yàn)證王東來(lái)的反應(yīng)離子刻蝕方案。
說(shuō)實(shí)話，這些儀器如果不是陳凌岳加入銀河科技的話，恐怕還需要大半年的時(shí)間甚至更長(zhǎng)時(shí)間才能湊齊。
至于反應(yīng)離子刻蝕的原理倒也算簡(jiǎn)單。
這種刻蝕過(guò)程同時(shí)兼具物理和化學(xué)兩種作用，輝光放電在零點(diǎn)幾到幾十帕的低真空下進(jìn)行，硅片處于陰極電位，放電時(shí)的電位大部分降落在陰極附近，大量帶電粒子受垂直于硅片表面的電場(chǎng)加速，垂直入射到硅片表面上，以較大的動(dòng)量進(jìn)行物理刻蝕，同時(shí)它們還與薄膜表面發(fā)生強(qiáng)烈的化學(xué)反應(yīng)，產(chǎn)生化學(xué)刻蝕作用。
選擇合適的氣體組分，不僅可以獲得理想的刻蝕選擇性和速度，還可以使活性基團(tuán)的壽命短，這就有效地抑制了因這些基團(tuán)在薄膜表面附近的擴(kuò)散所能造成的側(cè)向反應(yīng)，大大提高了刻蝕的各向異性特性。
反應(yīng)離子刻蝕也是超大規(guī)模集成電路工藝中很有發(fā)展前景的一種刻蝕方法。
王東來(lái)當(dāng)時(shí)在構(gòu)思方案的時(shí)候，原本是想著弄出一份離子蝕刻方案就行了，但是在【大腦超頻】的狀態(tài)下，靈感無(wú)數(shù)，便研究出了一份全新的反應(yīng)離子刻蝕方案。
在設(shè)計(jì)好之后，便發(fā)給了陳凌岳，讓他在實(shí)驗(yàn)室里進(jìn)行驗(yàn)證。
經(jīng)過(guò)差不多兩天的設(shè)備調(diào)校，今天便是驗(yàn)證的時(shí)間了。
操作人員再三檢查無(wú)誤之后，陳凌岳便下令開(kāi)始驗(yàn)證起來(lái)。
“嗡！”
機(jī)器輕輕地嗡鳴地響了起來(lái)，頓時(shí)就見(jiàn)到儀器開(kāi)始運(yùn)動(dòng)起來(lái)。
這一刻，尹之耀恨不得把自己的眼睛摘下來(lái)放到上面去看，免得錯(cuò)過(guò)任何一點(diǎn)關(guān)鍵信息。
不得不說(shuō)，在面對(duì)這方面的時(shí)候，尹之耀表現(xiàn)出來(lái)的熱愛(ài)，極為真誠(chéng)和熱烈。
王東來(lái)和陳凌岳等人見(jiàn)到尹之耀這樣的表現(xiàn)，心里也不禁對(duì)尹之耀生出了一絲欽佩。
畢竟這么大歲數(shù)的人了，還能對(duì)技術(shù)保持這樣的心態(tài)，屬實(shí)是很不錯(cuò)了。
單單只是一個(gè)刻蝕流程，其實(shí)并不需要耗費(fèi)多長(zhǎng)時(shí)間。
所以，很快儀器就停了下來(lái)。
而尹之耀則是第一時(shí)間，想要進(jìn)去看看結(jié)果如何，便看向王東來(lái)準(zhǔn)備出聲征求意見(jiàn)。
不等尹之耀說(shuō)出口，王東來(lái)便點(diǎn)了點(diǎn)頭，說(shuō)道：“尹總是這方面的專家，可以檢查一下！”
王東來(lái)充滿自信，絲毫不怕會(huì)出什么問(wèn)題。
尹之耀也不客氣，點(diǎn)了點(diǎn)頭，立即就走了進(jìn)去，開(kāi)始檢查起來(lái)。
而越看，尹之耀越是驚嘆。
作為沉浸這一行幾十年的老專家，在他手上其實(shí)也研發(fā)出來(lái)過(guò)不少先進(jìn)的刻蝕方案。
按理來(lái)說(shuō)，其實(shí)面對(duì)王東來(lái)設(shè)計(jì)出來(lái)的這一份刻蝕方案，不應(yīng)該這么激動(dòng)和看重。
但實(shí)際上并不是這樣。
因?yàn)橐粋€(gè)很簡(jiǎn)單的道理，技術(shù)越往后發(fā)展，所受到的掣肘也就越大，需要避開(kāi)的東西也就越多。
刻蝕方案已經(jīng)出現(xiàn)過(guò)了那么多種，后來(lái)人想要避開(kāi)，所需要的知識(shí)儲(chǔ)備就要更多，設(shè)計(jì)也就需要更加精妙。
看了王東來(lái)的論文之后，尹之耀已經(jīng)認(rèn)定王東來(lái)是這方面的天才了。
并且，論文里面透露出來(lái)的信息，也讓尹之耀充滿了期待。
所以，此刻尹之耀可以說(shuō)是用出了自己最大的精力來(lái)觀察，來(lái)檢查。
足足檢測(cè)了半個(gè)小時(shí)。
放下成品后，尹之耀的眼神無(wú)比明亮。
因?yàn)樗呀?jīng)確定了，王東來(lái)的這份蝕刻方案確實(shí)是合格的，甚至是優(yōu)秀。
完全不像是一個(gè)剛剛出現(xiàn)的設(shè)計(jì)方案，更像是運(yùn)行多年的成熟方案，根本毫無(wú)挑剔之處。
完美！
只能用這個(gè)詞來(lái)形容。
心里給出判斷之后，尹之耀既是興奮，又是緊張起來(lái)。
興奮在于通過(guò)這份設(shè)計(jì)方案，他可以很明確地說(shuō)，刻蝕裝備國(guó)產(chǎn)化已經(jīng)沒(méi)有多大的問(wèn)題了。
而緊張?jiān)谟冢鯑|來(lái)表現(xiàn)的能力，讓他這個(gè)中威公司的老板開(kāi)始有些擔(dān)憂自家公司的發(fā)展情況了。
畢竟，他已經(jīng)知道王東來(lái)的銀河科技將會(huì)在半導(dǎo)體行業(yè)進(jìn)行發(fā)展。
有這樣的領(lǐng)頭羊攻堅(jiān)克難，將會(huì)發(fā)生什么樣的結(jié)果，他可是太清楚不過(guò)了。
因?yàn)楫?dāng)初，他也是這樣過(guò)來(lái)的。
“尹總，你覺(jué)得如何？”
王東來(lái)走過(guò)來(lái)，笑著出聲問(wèn)道。
“王總，和你對(duì)比一下，我都感覺(jué)我這幾十年都白活了，后生可畏啊！”
尹之耀絲毫不掩飾自己的態(tài)度，面帶一絲苦笑地自嘲說(shuō)道。
“既然這樣的話，那尹總不妨和我一起再去轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)？”
王東來(lái)伸出手，邀請(qǐng)著尹之耀。
“好！”
尹之耀也不傻，自然明白王東來(lái)這個(gè)時(shí)候這樣邀請(qǐng)自己，肯定是有重要的事情要說(shuō)。
于是乎，兩人便再次在實(shí)驗(yàn)室里轉(zhuǎn)了起來(lái)。
人工智能醫(yī)療項(xiàng)目、鋰電池項(xiàng)目、無(wú)人機(jī)項(xiàng)目……
一個(gè)個(gè)的項(xiàng)目區(qū)域走過(guò)去，王東來(lái)也都對(duì)尹之耀進(jìn)行了簡(jiǎn)單的介紹。
最后，回到了辦公室之后，尹之耀心里也逐漸琢磨過(guò)來(lái)王東來(lái)的想法打算了。
“王總，明人不說(shuō)暗話，昨天你說(shuō)是要聯(lián)手合作，是按照什么樣的方案進(jìn)行？”
尹之耀并沒(méi)有遮掩，直接問(wèn)了出來(lái)。
因?yàn)樗溃约禾幵谙嘛L(fēng)，根本沒(méi)有多少討價(jià)還價(jià)的余地。
倒也不是說(shuō)自己的公司沒(méi)有了這份設(shè)計(jì)方案，就會(huì)倒閉，開(kāi)不下去了。
無(wú)非就是自家公司發(fā)展的慢一些，再遲幾年盈利而已。
但是，現(xiàn)在已經(jīng)看到王東來(lái)設(shè)計(jì)方案能力的強(qiáng)大，他自然不會(huì)放過(guò)這個(gè)機(jī)會(huì)。
商業(yè)領(lǐng)域，沒(méi)有人會(huì)愿意多一個(gè)競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手。
對(duì)于尹之耀主動(dòng)開(kāi)口詢問(wèn)，王東來(lái)并不意外，反而是在預(yù)料之中。
“尹總，你覺(jué)得國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)該怎么發(fā)展比較好？”
王東來(lái)并沒(méi)有直接回答尹之耀的問(wèn)題，而是問(wèn)起了另外的一個(gè)問(wèn)題。
尹之耀稍稍愣了一下神，才出聲說(shuō)道：“其實(shí)國(guó)內(nèi)目前已經(jīng)有不少的半導(dǎo)體設(shè)備公司，從光刻機(jī)到圓晶廠，再到芯片設(shè)計(jì)，都有公司在默默發(fā)展。”
“雖然有些領(lǐng)域相比較于國(guó)外差距還很大，可是已經(jīng)解決了從無(wú)到有的問(wèn)題，接下來(lái)，只需要大力投入資金和人才，再通過(guò)時(shí)間的積累，慢慢追趕，還是能夠追上的。”
“咱們國(guó)家人口眾多，龐大的人口基礎(chǔ)下，相對(duì)應(yīng)的人才也不在少數(shù)，追趕的速度應(yīng)該不會(huì)太慢。”
就在尹之耀這么說(shuō)著的時(shí)候，王東來(lái)忽然出聲打斷了尹之耀的話。
“那尹總覺(jué)得需要多少年，才能追趕上來(lái)？”
尹之耀沒(méi)有在意王東來(lái)打斷自己的講話，沉吟一下，就給出了一個(gè)時(shí)間，說(shuō)道：“快的話，三十年就能趕上，慢的話，五十年就差不多了。”
這個(gè)時(shí)間，并不是尹之耀胡說(shuō)八道，而是他作為行業(yè)內(nèi)的資深人士，結(jié)合自身所知道的情況，做出的判斷。
眼下，國(guó)內(nèi)的光刻機(jī)等領(lǐng)域就差了國(guó)外公司二十年的技術(shù)積累，國(guó)內(nèi)在追趕，國(guó)外也在進(jìn)步，如果一切順利的話，想要追趕上的，自然不可能只是二十年。
就這，還是尹之耀將國(guó)家大力支持，投入大量的資金和人才進(jìn)行研發(fā)的前提條件算了進(jìn)去。
要是沒(méi)有這些前提條件，追趕的速度只會(huì)更慢。
“尹總，三五十年太長(zhǎng)了，人生苦短，只爭(zhēng)朝夕！”
“并且，將時(shí)間拉長(zhǎng)到三五十年的話，誰(shuí)敢說(shuō)在這么長(zhǎng)的時(shí)間里沒(méi)有其他的什么變故。”
“依我的想法，西方未必會(huì)給我們這么長(zhǎng)的時(shí)間來(lái)追趕，且看貴公司只是發(fā)展這幾年，就遭受了多少的指控和起訴，就能看出他們的想法。”
“國(guó)家每年在半導(dǎo)體方面進(jìn)口的數(shù)額高達(dá)幾千億，這個(gè)市場(chǎng)實(shí)在是太大了，他們不會(huì)就這么看著我們安安穩(wěn)穩(wěn)地突破的。”
“專利壁壘，技術(shù)制裁，這些手段都是可以預(yù)見(jiàn)到的。”
“不知道尹總覺(jué)得我說(shuō)的有沒(méi)有道理？”
王東來(lái)說(shuō)完之后，便靜靜地看著尹之耀，等著他的回答。
尹之耀在國(guó)外待了這么多年，自然是知道這些公司的作風(fēng)。
尤其是，在自己回國(guó)之后，接連被泛林和應(yīng)用材料這兩家老東家起訴，早已經(jīng)讓他徹底看清了這些自詡自由民主的大公司的真實(shí)面目。
這兩次起訴，要不是他從一開(kāi)始就有所防備，避開(kāi)了專利糾紛，恐怕中威公司早就被碾壓的破產(chǎn)了。
就算是這樣，尹之耀也不覺(jué)得他們會(huì)放過(guò)自己，他們必然還在盯著自己，時(shí)刻準(zhǔn)備噬咬一口。
但是，就算是知道這些，尹之耀也不怎么想附和王東來(lái)的想法。
王東來(lái)的意思，通過(guò)這段話，尹之耀已經(jīng)看的很清楚了。
無(wú)非就是想要聯(lián)手，一起攻克難關(guān)，國(guó)產(chǎn)化，避開(kāi)西方的專利鉗制！
想法是好想法，就是不切實(shí)際。
心里這么想著，尹之耀開(kāi)口了。
“王總說(shuō)的很有道理，西方的那些公司確實(shí)是這樣，仗著專利壁壘，仗著自己掌握先進(jìn)技術(shù)，將產(chǎn)品翻倍地賣(mài)給我們，賺取大量的財(cái)富。”
“斷人財(cái)路，殺人父母，每年國(guó)家?guī)浊|的進(jìn)口，都是他們餐盤(pán)中的肉，根本不容其他人染指，要是一旦發(fā)現(xiàn)有人意圖奪取，當(dāng)即就會(huì)引來(lái)他們雷霆般的打擊！這個(gè)行業(yè)，雖然不能說(shuō)是被他們幾家壟斷了，但也絕對(duì)是被他們幾家聯(lián)手控制起來(lái)，不允許出現(xiàn)新的頂尖巨頭公司。”
“王總，想要國(guó)產(chǎn)化，無(wú)異于虎口奪食，難度頗高！”
尹之耀搖了搖頭，并沒(méi)有明說(shuō)什么，但又像是什么都說(shuō)了。
“尹總的話我明白了。”
王東來(lái)其實(shí)也想過(guò)尹之耀會(huì)拒絕自己的提議，倒是顯得很平靜。
辦公室的氣氛也在這個(gè)時(shí)候變得有些安靜下來(lái)。
“王總，我們都是國(guó)人，王總既然有這樣的雄心壯志，我自然是極力支持的，其他的領(lǐng)域可能幫不到，但是蝕刻這一方面，我們中威卻是當(dāng)仁不讓了。”
“這方面，我認(rèn)為我們有很大的合作空間，不知道王總意下如何？”
尹之耀笑意盈盈，出聲對(duì)王東來(lái)如此說(shuō)道，仿佛是剛才什么都沒(méi)有發(fā)生過(guò)一樣。
“好啊，既然尹總有意，那我們可以好好商議一下這份蝕刻方案的價(jià)格了。”
王東來(lái)也不在意，當(dāng)即就表達(dá)了自己的想法。
頓時(shí)，兩人便在辦公室里面進(jìn)行了商業(yè)談判。
原本開(kāi)出兩百萬(wàn)價(jià)格的方案，也翻了幾倍。
同時(shí)，兩人也達(dá)成了一定的協(xié)議和約定。