“目前，干法刻蝕工藝主要是離子銑刻蝕、等離子刻蝕和反應離子刻蝕三種方案。”
“而這三種方案，離子銑刻蝕最為簡單，可控性也比較高，技術成熟度也很高，相關的專利其實也已經被申請的差不多了，想要彎道超車，避開西方的專利壁壘，這個方案非常的難。”
“除此之外，這個方案也有技術本身的缺點，那就是刻蝕選擇性極差，必須采用專門的刻蝕終點檢測技術，并且刻蝕速率也比較低，性比價相當?shù)汀！?/p>
“而等離子刻蝕，雖然通過選擇和控制放電氣體的成分，可以得到較好的刻蝕選擇性和較高的刻蝕速率，但是刻蝕精度卻并不高，一般只能運用在大于4-5微米線條的工藝之中。”
“而我們實驗里正在進行的項目，就是王總設計的反應離子刻蝕方案！”
陳凌岳一邊介紹著，一邊帶著尹之耀等人朝著刻蝕方案項目區(qū)域而去。
聽到陳凌岳這么介紹，尹之耀的神情并沒有多大的變化。
論文他已經看過了，雖然有些吃驚王東來的動作迅速，直接就在自己的實驗室進行驗證，但如果只是這樣的話，也只能算是一般，中規(guī)中矩。
尹之耀的心里想法，其實不僅是王東來能看出來，陳凌岳也能看出來。
一路無話，很快就到了地方。
作為刻蝕行業(yè)沉浸幾十年的大佬，尹之耀心里不斷地評價著這座實驗室。
“看來銀河科技還是很舍得在這方面投入的！”
等到見到實驗項目的時候，尹之耀就變得無比認真起來。
眼睛一眨不眨地看著儀器。
現(xiàn)代的干法刻蝕設備包括復雜的機械、電氣和真空裝置，同時還配備有自動化的刻蝕終點檢測和控制裝置，價格昂貴，很少有實驗室會完全配備。
而現(xiàn)在，尹之耀的面前就有這些儀器。
這些儀器，目前也經過人為的修理調整，用來驗證王東來的反應離子刻蝕方案。
說實話，這些儀器如果不是陳凌岳加入銀河科技的話，恐怕還需要大半年的時間甚至更長時間才能湊齊。
至于反應離子刻蝕的原理倒也算簡單。
這種刻蝕過程同時兼具物理和化學兩種作用，輝光放電在零點幾到幾十帕的低真空下進行，硅片處于陰極電位，放電時的電位大部分降落在陰極附近，大量帶電粒子受垂直于硅片表面的電場加速，垂直入射到硅片表面上，以較大的動量進行物理刻蝕，同時它們還與薄膜表面發(fā)生強烈的化學反應，產生化學刻蝕作用。
選擇合適的氣體組分，不僅可以獲得理想的刻蝕選擇性和速度，還可以使活性基團的壽命短，這就有效地抑制了因這些基團在薄膜表面附近的擴散所能造成的側向反應，大大提高了刻蝕的各向異性特性。
反應離子刻蝕也是超大規(guī)模集成電路工藝中很有發(fā)展前景的一種刻蝕方法。
王東來當時在構思方案的時候，原本是想著弄出一份離子蝕刻方案就行了，但是在【大腦超頻】的狀態(tài)下，靈感無數(shù)，便研究出了一份全新的反應離子刻蝕方案。
在設計好之后，便發(fā)給了陳凌岳，讓他在實驗室里進行驗證。
經過差不多兩天的設備調校，今天便是驗證的時間了。
操作人員再三檢查無誤之后，陳凌岳便下令開始驗證起來。
“嗡！”
機器輕輕地嗡鳴地響了起來，頓時就見到儀器開始運動起來。
這一刻，尹之耀恨不得把自己的眼睛摘下來放到上面去看，免得錯過任何一點關鍵信息。
不得不說，在面對這方面的時候，尹之耀表現(xiàn)出來的熱愛，極為真誠和熱烈。
王東來和陳凌岳等人見到尹之耀這樣的表現(xiàn)，心里也不禁對尹之耀生出了一絲欽佩。
畢竟這么大歲數(shù)的人了，還能對技術保持這樣的心態(tài)，屬實是很不錯了。
單單只是一個刻蝕流程，其實并不需要耗費多長時間。
所以，很快儀器就停了下來。
而尹之耀則是第一時間，想要進去看看結果如何，便看向王東來準備出聲征求意見。
不等尹之耀說出口，王東來便點了點頭，說道：“尹總是這方面的專家，可以檢查一下！”
王東來充滿自信，絲毫不怕會出什么問題。
尹之耀也不客氣，點了點頭，立即就走了進去，開始檢查起來。
而越看，尹之耀越是驚嘆。
作為沉浸這一行幾十年的老專家，在他手上其實也研發(fā)出來過不少先進的刻蝕方案。
按理來說，其實面對王東來設計出來的這一份刻蝕方案，不應該這么激動和看重。
但實際上并不是這樣。
因為一個很簡單的道理，技術越往后發(fā)展，所受到的掣肘也就越大，需要避開的東西也就越多。
刻蝕方案已經出現(xiàn)過了那么多種，后來人想要避開，所需要的知識儲備就要更多，設計也就需要更加精妙。
看了王東來的論文之后，尹之耀已經認定王東來是這方面的天才了。
并且，論文里面透露出來的信息，也讓尹之耀充滿了期待。
所以，此刻尹之耀可以說是用出了自己最大的精力來觀察，來檢查。
足足檢測了半個小時。
放下成品后，尹之耀的眼神無比明亮。
因為他已經確定了，王東來的這份蝕刻方案確實是合格的，甚至是優(yōu)秀。
完全不像是一個剛剛出現(xiàn)的設計方案，更像是運行多年的成熟方案，根本毫無挑剔之處。
完美！
只能用這個詞來形容。
心里給出判斷之后，尹之耀既是興奮，又是緊張起來。
興奮在于通過這份設計方案，他可以很明確地說，刻蝕裝備國產化已經沒有多大的問題了。
而緊張在于，王東來表現(xiàn)的能力，讓他這個中威公司的老板開始有些擔憂自家公司的發(fā)展情況了。
畢竟，他已經知道王東來的銀河科技將會在半導體行業(yè)進行發(fā)展。
有這樣的領頭羊攻堅克難，將會發(fā)生什么樣的結果，他可是太清楚不過了。
因為當初，他也是這樣過來的。
“尹總，你覺得如何？”
王東來走過來，笑著出聲問道。
“王總，和你對比一下，我都感覺我這幾十年都白活了，后生可畏啊！”
尹之耀絲毫不掩飾自己的態(tài)度，面帶一絲苦笑地自嘲說道。
“既然這樣的話，那尹總不妨和我一起再去轉轉？”
王東來伸出手，邀請著尹之耀。
“好！”
尹之耀也不傻，自然明白王東來這個時候這樣邀請自己，肯定是有重要的事情要說。
于是乎，兩人便再次在實驗室里轉了起來。
人工智能醫(yī)療項目、鋰電池項目、無人機項目……
一個個的項目區(qū)域走過去，王東來也都對尹之耀進行了簡單的介紹。
最后，回到了辦公室之后，尹之耀心里也逐漸琢磨過來王東來的想法打算了。
“王總，明人不說暗話，昨天你說是要聯(lián)手合作，是按照什么樣的方案進行？”
尹之耀并沒有遮掩，直接問了出來。
因為他知道，自己處在下風，根本沒有多少討價還價的余地。
倒也不是說自己的公司沒有了這份設計方案，就會倒閉，開不下去了。
無非就是自家公司發(fā)展的慢一些，再遲幾年盈利而已。
但是，現(xiàn)在已經看到王東來設計方案能力的強大，他自然不會放過這個機會。
商業(yè)領域，沒有人會愿意多一個競爭對手。
對于尹之耀主動開口詢問，王東來并不意外，反而是在預料之中。
“尹總，你覺得國內的半導體行業(yè)應該怎么發(fā)展比較好？”
王東來并沒有直接回答尹之耀的問題，而是問起了另外的一個問題。
尹之耀稍稍愣了一下神，才出聲說道：“其實國內目前已經有不少的半導體設備公司，從光刻機到圓晶廠，再到芯片設計，都有公司在默默發(fā)展。”
“雖然有些領域相比較于國外差距還很大，可是已經解決了從無到有的問題，接下來，只需要大力投入資金和人才，再通過時間的積累，慢慢追趕，還是能夠追上的。”
“咱們國家人口眾多，龐大的人口基礎下，相對應的人才也不在少數(shù)，追趕的速度應該不會太慢。”
就在尹之耀這么說著的時候，王東來忽然出聲打斷了尹之耀的話。
“那尹總覺得需要多少年，才能追趕上來？”
尹之耀沒有在意王東來打斷自己的講話，沉吟一下，就給出了一個時間，說道：“快的話，三十年就能趕上，慢的話，五十年就差不多了。”
這個時間，并不是尹之耀胡說八道，而是他作為行業(yè)內的資深人士，結合自身所知道的情況，做出的判斷。
眼下，國內的光刻機等領域就差了國外公司二十年的技術積累，國內在追趕，國外也在進步，如果一切順利的話，想要追趕上的，自然不可能只是二十年。
就這，還是尹之耀將國家大力支持，投入大量的資金和人才進行研發(fā)的前提條件算了進去。
要是沒有這些前提條件，追趕的速度只會更慢。
“尹總，三五十年太長了，人生苦短，只爭朝夕！”
“并且，將時間拉長到三五十年的話，誰敢說在這么長的時間里沒有其他的什么變故。”
“依我的想法，西方未必會給我們這么長的時間來追趕，且看貴公司只是發(fā)展這幾年，就遭受了多少的指控和起訴，就能看出他們的想法。”
“國家每年在半導體方面進口的數(shù)額高達幾千億，這個市場實在是太大了，他們不會就這么看著我們安安穩(wěn)穩(wěn)地突破的。”
“專利壁壘，技術制裁，這些手段都是可以預見到的。”
“不知道尹總覺得我說的有沒有道理？”
王東來說完之后，便靜靜地看著尹之耀，等著他的回答。
尹之耀在國外待了這么多年，自然是知道這些公司的作風。
尤其是，在自己回國之后，接連被泛林和應用材料這兩家老東家起訴，早已經讓他徹底看清了這些自詡自由民主的大公司的真實面目。
這兩次起訴，要不是他從一開始就有所防備，避開了專利糾紛，恐怕中威公司早就被碾壓的破產了。
就算是這樣，尹之耀也不覺得他們會放過自己，他們必然還在盯著自己，時刻準備噬咬一口。
但是，就算是知道這些，尹之耀也不怎么想附和王東來的想法。
王東來的意思，通過這段話，尹之耀已經看的很清楚了。
無非就是想要聯(lián)手，一起攻克難關，國產化，避開西方的專利鉗制！
想法是好想法，就是不切實際。
心里這么想著，尹之耀開口了。
“王總說的很有道理，西方的那些公司確實是這樣，仗著專利壁壘，仗著自己掌握先進技術，將產品翻倍地賣給我們，賺取大量的財富。”
“斷人財路，殺人父母，每年國家?guī)浊|的進口，都是他們餐盤中的肉，根本不容其他人染指，要是一旦發(fā)現(xiàn)有人意圖奪取，當即就會引來他們雷霆般的打擊！這個行業(yè)，雖然不能說是被他們幾家壟斷了，但也絕對是被他們幾家聯(lián)手控制起來，不允許出現(xiàn)新的頂尖巨頭公司。”
“王總，想要國產化，無異于虎口奪食，難度頗高！”
尹之耀搖了搖頭，并沒有明說什么，但又像是什么都說了。
“尹總的話我明白了。”
王東來其實也想過尹之耀會拒絕自己的提議，倒是顯得很平靜。
辦公室的氣氛也在這個時候變得有些安靜下來。
“王總，我們都是國人，王總既然有這樣的雄心壯志，我自然是極力支持的，其他的領域可能幫不到，但是蝕刻這一方面，我們中威卻是當仁不讓了。”
“這方面，我認為我們有很大的合作空間，不知道王總意下如何？”
尹之耀笑意盈盈，出聲對王東來如此說道，仿佛是剛才什么都沒有發(fā)生過一樣。
“好啊，既然尹總有意，那我們可以好好商議一下這份蝕刻方案的價格了。”
王東來也不在意，當即就表達了自己的想法。
頓時，兩人便在辦公室里面進行了商業(yè)談判。
原本開出兩百萬價格的方案，也翻了幾倍。
同時，兩人也達成了一定的協(xié)議和約定。